2 sccm – 200 slm   主要參數(shù) SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE

介質(zhì)要求 Applicable Media 潔凈干燥氣體 Clean, dry gases 

氣體種類 Gas Type 90+ Available for 90+types of gas 

量程 Full cale (N2 equivalent) 0-2, 10, 20, 50, 100, 200 sccm; 0-1, 2, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200 slpm 

測(cè)量范圍 Measurement range 0.5% F.S. (1:200) 

控制范圍 Control range 1% - 100% F.S. (1:100) （MFC）

準(zhǔn)確度 Accuracy ±1% F.S. 

重復(fù)精度 Repeatability ±0.2% F.S. 

線性度 Linearity ±0.2% F.S. 

控制響應(yīng)時(shí)間 Typical control response time <1 秒 

預(yù)熱時(shí)間 Warm-up time 5 min (T95),

30分鐘最佳 30min for optimum accuracy 

閥門 Valve function 

常閉式 Normally Closed 

泄漏率 Leak integrity 1*10-9 Pa*m3/sec He 分辨率 Resolution ratio 0.001sccm

公司自主研發(fā)的核心器件全自研全國(guó)產(chǎn)化的熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)（MFC330/MFC350 系列產(chǎn) 品）已經(jīng)量產(chǎn)并通過市場(chǎng)驗(yàn)證。核心部件毛細(xì)管熱式傳感器、高精度電磁比例閥自主 研制、核心生產(chǎn)設(shè)備及治具檢具亦自主研制。本項(xiàng)目專注于的層流差壓式氣體質(zhì)量流 量控制器（MFC）的研發(fā)、國(guó)產(chǎn)化量產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)，聚焦半導(dǎo)體、光伏、顯示面板、 真空鍍膜、分析儀器、生物醫(yī)藥、精細(xì)化工等制造領(lǐng)域。針對(duì)國(guó)內(nèi) MFC 長(zhǎng)期被海 外品牌壟斷、供貨周期長(zhǎng)、價(jià)格高昂、售后滯后、卡脖子風(fēng)險(xiǎn)突出等行業(yè)痛點(diǎn)，團(tuán)隊(duì)依托 自主流體控制算法、自產(chǎn)高精度流量傳感器及控制比例閥、低漂移溫控補(bǔ)償技術(shù)，打造高 精度、高穩(wěn)定性、長(zhǎng)壽命、高性價(jià)比的國(guó)產(chǎn)化 MFC 系列產(chǎn)品。 項(xiàng)目產(chǎn)品可全面替代進(jìn)口美國(guó) Brooks、MKS、Alicat、日本 Horiba 等主流海外品牌，覆蓋 微小流量、常規(guī)流量場(chǎng)景，兼容腐蝕性氣體、惰性氣體、劇毒、易燃易爆氣體等多介質(zhì)工 況。目前項(xiàng)目已完成技術(shù)打磨、正在進(jìn)行性能測(cè)試、小批量試產(chǎn)，具備市場(chǎng)化落地條件。 本輪計(jì)劃融資用于產(chǎn)品迭代研發(fā)、產(chǎn)線擴(kuò)建、資質(zhì)認(rèn)證、市場(chǎng)拓展、布局及核心團(tuán)隊(duì) 擴(kuò)充，打破進(jìn)口壟斷、快速搶占國(guó)產(chǎn)替代市場(chǎng)紅利，打造的精密氣體流量測(cè)控儀 表品牌。