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本項目具備從底層算法、結(jié)構(gòu)設(shè)計、硬件適配到量產(chǎn)的全線自主技術(shù)研發(fā)能力,擺脫國內(nèi)MFC行業(yè)普遍進(jìn)口核心部件進(jìn)行組裝的短板,核心技術(shù)自主可控、生產(chǎn)設(shè)備和治具檢具自主可控、供應(yīng)鏈國產(chǎn)化,構(gòu)建起高壁壘的技術(shù)體系。
在核心算法層面,團(tuán)隊自研動態(tài)流量溫度壓力補償算法,針對溫度漂移、壓力波動、氣體介質(zhì)差異、管路工況干擾等行業(yè)共性難題,實現(xiàn)實時動態(tài)校準(zhǔn)修正,解決了傳統(tǒng)國產(chǎn)MFC長期存在的精度不穩(wěn)定、重復(fù)性差、長期漂移量大的痛點,產(chǎn)品測量精度、響應(yīng)速度、穩(wěn)定性全面對標(biāo)美國Brooks、MKS、Alicat、日本Horiba等進(jìn)口設(shè)備,可滿足半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積、光刻等高精工藝嚴(yán)苛要求。
在結(jié)構(gòu)與硬件設(shè)計層面,自主完成流道仿真優(yōu)化、傳感結(jié)構(gòu)定制、防腐結(jié)構(gòu)設(shè)計,針對腐蝕性特種氣體、易燃易爆劇毒氣體、高低溫復(fù)雜工業(yè)工況做專項優(yōu)化,核心管路、傳感組件適配工業(yè)場景,大幅提升產(chǎn)品使用壽命與工況適配性。同時搭建標(biāo)準(zhǔn)化精密校準(zhǔn)體系,自主完成全量程、多氣體、多工況校準(zhǔn)測試,建立專屬校準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫,保障每臺設(shè)備出廠一致性。
目前項目已完成產(chǎn)品樣機及小批量量產(chǎn)、正在進(jìn)行嚴(yán)苛的可靠性測試,可快速實現(xiàn)產(chǎn)品升級、非標(biāo)定制、工藝適配優(yōu)化,進(jìn)行MFC的國產(chǎn)替代。
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