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流量計(jì)
氣體質(zhì)量流量計(jì)
MFC600系列層流差壓式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
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600 系列層流差壓式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,其結(jié)構(gòu)包含層流差壓式流量傳感器、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。內(nèi)置壓力和溫度補(bǔ)償系統(tǒng),核心算法,動態(tài)調(diào)控高精度比例閥以自動控制氣體流量,提供更加精準(zhǔn)和穩(wěn)定的氣體流量測量和控制。
產(chǎn)品特點(diǎn):. 精度:0.2 % F.S
控制范圍:1%~100% F.S. 5ms測量響應(yīng),100ms控制響應(yīng)
130+種氣體適用,靈活切換、配氣
同時(shí)測量標(biāo)況流量和工況流量
通訊方式:模擬量、RS485, RS232, CANOPEN, DeviceNet, Profibus, EtherCat
流量范圍: 最小值 0-1 sccm ; 最大值: 0-200 slpm



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