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流量計
氣體質(zhì)量流量計
MFC320系列氣體質(zhì)量流量計/控制器

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
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MFC320系列氣體質(zhì)量流量計/控制器產(chǎn)品特點:
精度:0.5 % F.S.
控制范圍:1~100% F.S.
工作壓差范圍:0-1 MPa
5ms測量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)
抗腐蝕型可選
通訊方式:模擬量,RS485, RS232, CAN, DeviceNet, Profibus, EtherCat
流量范圍:
最小值 0-2 sccm ; 最大值: 0-200 slpm



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