微小型氣體流量控制器采用氣體流過外熱源加熱的毛細管時產(chǎn)生的溫度場變化 來測量氣體質(zhì)量流量，通過電橋?qū)囟葓龅淖兓D(zhuǎn)化為電信號并經(jīng)過電 路放大、濾波處理理后的信號采集進處理器芯片，再通過氣體流量 外標法和溫壓補償?shù)玫綔蚀_的真實氣體流量值。氣體實際流量值與流量 設定值進行比較, 將差值通過智能算法去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過 通道的流量使之與流量設定值相等，實現(xiàn)氣體流量的精準控制
我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器(以下簡稱 MFC330)，
主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精確測量和控制。采用優(yōu)質(zhì)的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面，使氣體流量控 制更加精準、穩(wěn)定和簡便，內(nèi)置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值 外，進一步對氣體流量控制進行溫壓補償；支持多種通訊協(xié)議，可以方便高 效的與電腦、PLC、工業(yè)觸摸屏、單片機等進行通訊；具有多氣體測量，高精度，高穩(wěn)定性，極低零漂等特性。
MFC330在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用。其典型 的應用場合包括: 電子工藝設備, 如擴散、氧化、外延、 CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系 統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
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