進口平替氣體流量計MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調(diào)節(jié)氣體流量至設定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

     產(chǎn)品特點

精準質(zhì)量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟有效的解決方案

• 介質(zhì)要求

  潔凈干燥氣體
• 氣體種類

  98+氣體可選
• 量程

  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
  0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
• 測量范圍

  0.5%F.S.（1:200）
• 控制范圍

  1%-100% FS.（1:100）
• 準確度

  ±1% F.S.
• 重復精度

  ±0.2%F.S.
• 線性度

  ±0.2%F.S.
• 控制響應時間

  <3 秒
• 預熱時間

  5 min（T95），30 分鐘最佳
• 閥門

  常閉式