熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè) 溫度傳感器 。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和 校正 氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測(cè)量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)即Mass Flow Meter（縮寫為MFM），它是氣體流量計(jì)量中新型儀表，區(qū)別于其它氣體流量計(jì)不需要進(jìn)行壓力和溫度修正，直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，一支傳感器可以做到量程從極低到高量程。它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測(cè)量。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是用于測(cè)量和控制氣體質(zhì)量流量的新型儀表?？捎糜谑?、化工、鋼鐵、冶金、電力、輕工、醫(yī)藥、環(huán)保等工業(yè)部門的空氣、烴類氣體、可燃性氣體、煙道氣體的監(jiān)測(cè)。

特點(diǎn)：

（1）可靠性高，重復(fù)性好，測(cè)量精度高，壓損小；

（2）無活動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)速度快，無須溫壓補(bǔ)償。

應(yīng)用：

（1）工業(yè)管道中氣體質(zhì)量流量測(cè)量；

（2）煙囪排出的煙氣流速測(cè)量；

（3）煅燒爐煙道氣流量測(cè)量；

（4）燃?xì)膺^程中空氣流量測(cè)量；

（5）壓縮空氣流量測(cè)量；

（6）半道體芯片制造過程中氣體流量測(cè)量；

（7）污水處理中氣體流量測(cè)量；

（8）加熱通風(fēng)和空調(diào)系統(tǒng)中的氣體流量測(cè)量；

（9）熔劑回收系統(tǒng)氣體流量測(cè)量；

（10）燃燒鍋爐中燃燒氣體流量測(cè)量；

（ 11 ）天然氣、火炬氣、氫氣等氣體流量測(cè)量；

（12）啤酒生產(chǎn)過程中二氧化碳?xì)怏w流量測(cè)量；

（13）水泥、卷煙、玻璃廠生產(chǎn)過程中氣體質(zhì)量流量測(cè)量。